|
Geräteausstattung des Labor Mikrofertigung
Hochvakuum-Laboranlage
- Sputterätzen
- Hochfrequenzsputtern
- Magnetronsputtern (auch reaktiv)
- Elektronenstrahlverdampfen
- Schwingquarz-Schichtdickenmessung
- Massenspektrometer
Vakuum-Beschichtungsanlage
- Widerstandsverdampfung (3 Quellen)
- Transmissionsmessung
Reine Werkbank
- Lackschleuder, 3 Zoll
- UV-Belichtungseinheit
- div. Ultraschall-Reinigungsgeräte
Lithografie
- Maskaligner Suss MA 56M
- Maskaligner Suss MJB 3
- mechanischer Waferstepper
- Repro-Kamera
- Zweiraumkamera
- Cardiograph
Plasma Ascher
Thermosonic Gold Ball Bonder
DC-Sputteranlage
Kohle-Verdampfungsanlage
Trocknungsöfen
Schleif- und Poliereinrichtung
Stereomikroskope
Messmikroskop
zurück zur Übersicht
Laser-Bearbeitungszentrum
- feste und Lichtwellenleiter Optik
- Dreheinrichtung für runde Proben
- großer Bearbeitungsbereich
Nd:YAG Bearbeitungslaser
für die Mikromaterialbearbeitung
Argon Ionenlaser
diverse Helium Neon Laser
für holografische Belichtungen
für die Lasermesstechnik
zurück zur Übersicht
|
Aktuelles
Home
Aktuelles
